激光雷达是以发射激光束探测目标的位置、速度等特征量的雷达系统。其工作原理是向目标发射探测信号(激光束)然后将接收到的从目标反射回来的信号(目标回波)与发射信号进行比较,作适当处理后,就可获得目标的有关信息,如目标距离、方位、高度、速度、姿态、甚至形状等参数,从而对目标进行探测、跟踪和识别。当前，随着市场应用的不断加大，对于AGV的要求也越来越高，传统的导航方式已经难以满足大众需求，因此激光雷达导航技术在AGV应用兴起。
利用激光雷达脉冲波的穿透，可以探索森林领域。通过分析脉冲波的回波波形数据，可以得到森林地形的三维结构，可以估算森林高度?冠层结构等重要参数，估算森林生物量，可以找到地下墓冢?建筑等，用于其他林业研究。考古研究提供基本数据。激光雷达定向强角分辨率高?短工作波，可测量距离、速度、角度等参数，且空间无大气衰减和散射，激光光量为、重量小、能耗低，在太空部门也在发展。在过去的十年中，激光雷达已被广泛应用于航天器领域，如星际激光测量仪器?航天器对接和着陆导航、飞机成像。
MEMS激光雷达
相控阵技术是MEMS实现激光雷达功能的另一个解决方案，其基本原理是，MEMS的微小移动产生光程差，多个具有不同相位的出射光束在远场干涉形成光束偏转。韩国Byung-WookYoo等人的研究小组对此方案进行研究，如图6所示，在硅基上制备具有8×8高对比光栅的MEMS结构相控阵，优化的性能表现为10V电压即可产生1.7π的相移，具有0.5MHz的响应速度，采用透镜系统扩大视场，测量得到远场总视场角为9.14°×9.14°。