氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。还可以在半密封的工件内部抽气成负压来检测产品时候有泄漏(需要外部防水的产品,完全模拟水进入产品的方向)。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
气泡检测方法:在密封的产品内部注入一定压力的气体,然后将产品侵入水(或者其他液体)中,观察是否有气泡漏出;或者在产品表面涂抹泡沫液 或者肥皂水看是否有气泡产生。生产厂家会对电子产品开展防水级别检测,因而每一款商品都必须开展气密性检测。(此方式落后、效率低、污染或者损坏产品、人工判定不准确、没法自动化生产),这是早期人们采用的气密性检测 方法,在产线上已经不多见,被新型的气密性测试仪所取代;