反渗透系统是整个纯净水系统的部件，只有通过反渗透才能达到纯净水的标准。反渗透系统主要采用膜过滤工艺。然后水分子可以通过反渗透膜。超纯水设备又称做：超纯水器，超纯水机，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.25兆欧。超纯水系统设备的脱盐部件为进口反渗透膜组件，超纯水系统设备通常由预处理部分，反渗透主机部分，后处理部分共同组成。
纯水处理设备的特点：产品水、浓水各设有流量计，以监测系统出水量及回收率；精滤器前后压力表、反渗透膜前后压表可连续监测反渗透膜及精滤器压差，提示何时需要清洗或更换。纯水设备采用世界上先进的反渗透膜元件、压力容器、高压泵、配以合理而又的前处理设备及后处理精脱盐设备。超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
纯水设备的工作原理是对水施加一定的压力，使水分子和离子态的矿物质元素通过反渗透膜，而溶解在水中的绝大部分无机盐(包括重金属)、有机物以及细菌、病毒等无法透过反渗透膜，从而使渗透过的纯净水和无法渗透过的浓缩水严格的分开。纯净水设备可以有效地清除水中的细菌，重金属离子等有害物质，还可清除无法清除的氟等致癌的物质。超纯水设备采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
EDI装置是应用在反渗透系统之后，取代离子交换树脂，无需酸碱再生，具有水质稳定、运行费用低、操作管理方便、占地面积小等特点。超纯水系统设备的脱盐部件为进口反渗透膜组件，超纯水系统设备通常由预处理部分，反渗透主机部分，后处理部分共同组成。EDI装置是应用在反渗透系统之后，取代传统的混合离子交换技术（MB-DI）生产稳定的去离子水。