1:表面有少许污渍、线痕、凹痕,轻微崩边。
2: 220±30μm ≤TV≤220±40μm。
3:凹痕:硅片表面凹痕之和≤30μm。
4:崩边范围:崩边口不是三角形状,崩边口长度≤1mm,深度≤0.5mm
同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。
垂直度:任意两边的夹角:90°±0.5。
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