真空检漏技术
真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。
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真空箱式氦检漏系统
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真空箱式氦检漏系统
概述
本设备适用对充气环网柜(以下简称工件)进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空,使工件内外压差不大于0.04Mpa,对被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性检测,通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用,后向工件内充入规定压力的SF6和氮气工作气体。真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统1.配置与气路控制真空箱:一般为双工位,两个不锈钢真空箱,开门装置可采用液压方式,或加配重的手动方式。
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时,利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机,并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性,将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行,直至达到回收终压力。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。
性能特点
1、安全
★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。
★ 真空箱门设安全光电保护装置,确保操作者安全
★ 氦气示踪安全环保。
★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀保证系统安全。
2、高灵敏度
★ 检漏精度高。
★ 抑零功能,消除氦本底影响。
氦检漏设备
密封器件的氦质谱细检漏技术细分为压氦法(即背压法) 和预充氦法两种。D A Howl 等首先给出了压氦法测量漏率Re 与等效标准漏率L 的关系,并指出该关系对应的气流状态为分子流,文献指出将压氦法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉,就得到预充氦法的相应关系式。无论是压氦法还是预充氦法,在公式推导中都假定候检期间环境大气中不存在氦分压。然而,实际上地球干洁大气中含有少量氦气;压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染,使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。因此,推导和分析环境大气中氦分压对压氦法和预充氦法的影响是十分必要的。氦气检漏的基本功能(部分功能可选配)1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验。
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